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Chemical-mechanical polishing 2001--advantages and future challenges :: symposium held April 18-20, 2001, San Francisco, California, U.S.A. /
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著者:
Babu
S. V.
Cadien
Kenneth Charles
Yano
Hiroyuki.
出版社:
Materials Research Society,
出版日期: c2001.
文献类型:
图书 , 索书号:
TG175-53/C517
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