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	1.		Semiconductor manufacturing technology / 订购中著者: Serda Julian. 出版社: Prentice Hall, 出版日期: c2006. 文献类型: 图书 , 索书号: TN305/Q8 在馆信息图书目录内容简介著者简介
	2.		半导体制造技术订购中著者: Michael Quirk Julian Serda 出版社: 电子工业出版社出版日期: 2004 文献类型: 图书 , 索书号: TN305/13 在馆信息图书目录内容简介著者简介
	3.		半导体制造技术已借13次. 订购中著者: 夸克瑟达出版社: 电子工业出版社出版日期: 2009 文献类型: 图书 , 索书号: TN305/18 在馆信息图书目录内容简介著者简介

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